超薄型Pt膜溫度傳感器的微加工技術研究

為了掌握采用激光微加工技術加工超薄型Pt膜溫度傳感器的最佳工藝參數(shù),文中采用聲光調Q原理的Nd-YAG激光劃片機加工Al2O3陶瓷基體,研究激光工藝參數(shù)與傳感器基體上刻槽深度與寬度的關系,以及采用調-阻機加工Pt薄膜電阻,研究激光調阻工藝參數(shù)與調阻精確度的關系.

作 者： 馮僑華 施云波 FENG Qiao-hua SHI Yun-bo   作者單位： 哈爾濱理工大學,測控技術與通信工程學院,黑龍江,哈爾濱,150040  刊 名： 哈爾濱理工大學學報  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF HARBIN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2007 12(5)  分類號： O439 TP212.11  關鍵詞： 激光精密加工   激光劃片   激光調阻   超薄型Pt膜溫度傳感器  

【超薄型Pt膜溫度傳感器的微加工技術研究】相關文章：

探測空間原子氧環(huán)境的鋨膜電阻傳感器技術研究04-26

溫度對膜生物反應器運行特性及膜污染的影響04-26

鹽泥除鹽的膜清洗技術研究04-26

冷卻液溫度傳感器說課03-03

F-P光纖壓力傳感器的溫度特性研究04-26

大豆大壟壟上行間覆膜滴灌栽培技術研究初報04-26

鑄造鈦合金骨架結構件加工技術研究04-27

次臨界膜通量下膜污染研究04-27

混凝土生態(tài)膜掛膜實驗研究04-25

傳感器的論文05-01