熱處理對溶膠-凝膠TiO2薄膜的特性影響

研究了熱處理對溶膠-凝膠法制備的TiO2薄膜材料的晶體結構、致密化以及光學特性的影響結果表明TiO2溶膠顆粒的最低結晶化溫度為400℃,晶體尺寸隨著熱處理溫度的升高而增大;TiO2薄膜的厚度隨著熱處理溫度的升高從120nm減小到47nm,相應的折射率則從1.85增加到2 3;同時,TiO2薄膜的孔洞率隨著熱處理溫度的升高從0.23降低到0.122,密度則從2.83 g.cm-3增加到3.73 g.cm-3

作 者： 吳廣明 馬建華 魏建東 S.M.Attia   作者單位： 同濟大學波耳固體物理研究所,  刊 名： 同濟大學學報(自然科學版)  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF TONGJI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)  年，卷(期)： 2001 29(11)  分類號： O484  關鍵詞： 溶膠-凝膠法   TiO2薄膜   密度  

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