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微機(jī)械陀螺儀的微結(jié)構(gòu)分析與設(shè)計(jì)
針對(duì)基于微米技術(shù)的微機(jī)械陀螺檢測功能微弱的現(xiàn)象,本文建立了振動(dòng)輪式微機(jī)械陀螺儀的機(jī)電系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)模型.經(jīng)對(duì)某微陀螺結(jié)構(gòu)的仿真計(jì)算發(fā)現(xiàn),哥氏阻尼力隨激勵(lì)哥氏力增大而增大,造成電容檢測信號(hào)極為微弱,無論激勵(lì)的幅度和頻率如何.為此,本文給出了一種新型振動(dòng)輪式微陀螺結(jié)構(gòu),可減小哥氏阻尼力,相對(duì)增大了激勵(lì)哥氏力.這種新型結(jié)構(gòu)顯著增強(qiáng)了電容檢測信號(hào),而且具有雙軸微陀螺功能、對(duì)耦合線加速度不敏感等特點(diǎn).
作 者: 賈建援 王志榮 馮小平 作者單位: 賈建援,王志榮(西安電子科技大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院)馮小平(西安電子科技大學(xué)電子工程學(xué)院)
刊 名: 儀器儀表學(xué)報(bào) ISTIC EI PKU 英文刊名: CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT 年,卷(期): 2001 22(5) 分類號(hào): V24 關(guān)鍵詞: 微機(jī)械陀螺儀 微電子機(jī)械系統(tǒng) 微慣量測量組合 機(jī)電系統(tǒng)動(dòng)力學(xué) 微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)【微機(jī)械陀螺儀的微結(jié)構(gòu)分析與設(shè)計(jì)】相關(guān)文章:
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